SEMI · 光通信
Hubble-2000HD
光模块2D检测设备
高倍显微成像，看清光器件细微缺陷
面向光通信模块及精密光器件，实现波导、芯片及光学区域的高精度外观检测
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产品定位
Hubble-2000HD是一款面向光通信模块和精密光器件的高分辨率2D光学检测设备
设备通过多倍率显微光学系统、自动对焦和AI算法识别波导区域、PIC芯片及光学表面的细微缺陷
核心优势
多倍率显微成像
兼顾检测范围与微小缺陷识别能力
亚微米级光学分辨率
最高光学分辨率可达0.225 μm
实时自动对焦
在运动过程中保持稳定、清晰成像
AI复杂缺陷识别
识别低对比度与不规则外观缺陷
可检测范围
波导区
PIC波导区
LD
PD
光敏区
LDD
TIA
主要参数
检测分辨率
2.25/0.9/0.45/0.225 μm
FOV尺寸
11×9 / 4.6×3.6 / 2.3×1.8 / 1.15×0.9 mm
检测类型
2D高倍率显微检测、AI缺陷识别
可检测缺陷
异物、污染、划伤、崩边、缺角、缺损、图形异常及元件外观异常等