SEMI · 光通信
Hubble-3000
光模块3D检测设备
完整呈现微细结构,守护光模块封装品质
面向光通信模块精密封装,实现键合线、焊球、芯片及封装区域的综合质量检测
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产品定位
Hubble-3000面向光通信模块及相关精密封装工艺
适用于400G/800G/1.6T光模块检测设备获取金线、焊球、芯片和封装结构的完整三维信息,识别线弧、连接状态、焊球形貌及芯片外观异常
核心优势
全景深3D成像
呈现不同高度上的精密封装结构
键合线完整检测
获取空间走向、弧高与连接状态
焊球3D量测
分析焊球高度、厚度与整体形貌
AI复杂缺陷识别
识别芯片、元件及封装区域异常
3D检测能力
金线外形检测(有无少线,多线,有无坍塌和侧倾,金线与芯片搭连、金线断裂、金线高度& 弧度等)
金球检测(金球厚度,金球高度,少球、异常球,异常线尾)
主要参数
检测类型
2D外观检测、全景深3D成像、AI缺陷识别
可检测缺陷
缺线、多线、断线、错线、搭连、塌线、侧倾、弧高异常、缺球、异常球、拖尾及芯片外观缺陷等