SEMI · 晶圆检测

Spectra-2000A
晶圆级2D光学检测设备

高分辨率成像，精准识别微小缺陷

通过多倍率显微成像与AI算法，自动识别晶圆表面的图形、蚀刻及外观异常

产品定位

Spectra-2000A是一款面向晶圆表面外观检测的高分辨率2D光学检测设备，适用于晶圆制造及封装前段工艺
设备通过自动对焦、晶圆位姿校正与AI缺陷识别，实现微小缺陷的自动检测、分类和记录
助力客户提升工艺管控水平和产品良率

呈现晶圆表面的细微结构与低对比度异常

兼顾大范围扫描与局部高倍复查

自动识别不规则外观缺陷

提升成像稳定性并减少人工干预

沾污

划伤

Bump刮伤

崩边

PI孔洞

针痕多扎

起皮

Pad色差

Pad缺损

Pad沾污

2D高分辨率外观检测

图形及蚀刻异常、异物、脏污、崩边、缺边、破损、划伤及切割损伤等